General Vibration Citeria (BBN-Criterion, 정밀 장비의 진동 기준)

General Vibration Citeria (BBN-Criterion, 정밀 장비의 진동 기준)

 

 

정밀 장비의 진동 허용치는 반도체 및 정밀 생산설비의 성능을 저하시키지 않는 외부 진동의 적정성을 평가하기위해서 요구되며, 일반적으로 BBN (Bolt, Beranek and Newman) 기준을 적용한다. BBN 기준은 장비 외부 진동을 1/3 옥타브 밴드로 측정(RMS 실효치)하여, 그 결과가 초과하지 않는 Class를 등급으로 한다. 

 

[ BBN General Vibration Criterion ]

 

 

[ General Vibration Criterion Class 구분 ]

구분	장비	진동 기준
		4~8 Hz RMS, Acceleration	8~80 Hz RMS, Acceleration
일반적인 진동환경	일반사업장, Workshop	4 gal (변위 16um)	800 um/s
	사무실, Office	2 gal (변위 8um)	400 um/s
	거주지, Residential	1 gal (변위 4um)	200 um/s
	Operating Theatre 100배 현미경, 로봇 수술실, 일반 연구실	0.5 gal (변위 2um)	100 um/s
정밀 진동 Class A	400배 정도 현미경, 측정실, 전자장비 생산설비	0.25 gal (변위 1 um, 8 Hz)	50 um/s
정밀 진동 Class B	400배 이상 현미경, 안과/신경계 수술실 * 3m 이상 선폭 노광장치	0.13 gal (변위 0.5 um, 8 Hz)	25 um/s
정밀 진동 Class C	30,000배 수준 전자현미경, 반도체 생산설비 * 1um 선폭 노광장치	12.5 um/s
정밀 진동 Class D	30,000배 이상 전자현미경, 세포이식장치, 반도체 생산설비 * 0.5um 선폭 노광장치	6.25 um/s
정밀 진동 Class E	Unisolated Laser and ptical Research System, 반도체 생산설비 * 0.25um 선폭 노광장치	3.12 um/s

 

 

 

▷ 공장진동 배출허용기준 및 측정방법